浙江扫描电镜是是一种介于透射电镜和光学显微镜的微观形貌观察手段,能直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。其主要优点有:
有较高的放大倍数,一般在20-20万倍之间连续可调。
有很大的景深,视野大,成像富有立体感。
试样制备简单。
对样品表面的形貌、组成、性质的了解均有较好的适应性。
扫描电镜在医学、材料科学、半导体科学、生物学、地质学、化学等领域有广泛的应用价值。
扫描电镜的样品不需要进行切片处理。
扫描电镜的维护主要有以下几个方面:
电子枪的维护:在实验结束后,关闭电子枪,可延长电子枪的寿命。冷场发射扫描电镜电子枪需要定时短暂加热针尖至2500K,以去除所吸附的气体原子。
物镜光阑的维护:扫描电镜物镜的光阑离样品最近,工作状态下光阑处于加热状态,再关掉光阑后需要冷却半小时才可以关掉冷却循环水。光阑使用一段时间后容易结碳,影响成像的效果,此时要及时要打开样品室,清洁光阑。
样品的制备要求:由于扫描电镜的高真空系统,样品进入交换室之前要仔细检查,确保没有易挥发的物质及未粘牢的粉末,破换样品室的真空度。
送样杆和交换室的清洁:扫描电镜送样杆和交换室在换样品时经常暴露在大气中,容易受到灰尘的污染,降低真空密闭效果,因此要及时清结,以防把灰尘带到样品室的真空系统中污染光阑。
机械泵的维护:经常检查扫描电镜机械泵的油液面,看其液面是否在窗口油位刻线的水平上,若在窗口油位刻线的水平下,应马上添加机械泵油,如果观察到机械泵窗口油颜色变深,应马上更换机械泵油。若机械泵出现故障要及时修理,并换上备用泵,以保证真空度。
循环水的维护:定期检查扫描电镜循环水状况,水位低于警戒线,应马上添加纯净水,若循环水混浊变质,应马上更换循环水,防止循环系统堵塞和结垢,影响水循环系统的工作效率。
扫描电镜的样品制备过程简单,不用切成超薄切片,能够直接观察样品表面的结构,可以从各种角度对样品进行观察,景深大,图像富有立体感,而且图像的放大范围广,分辨率也比较高。